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規格

X500L

X500

測試方法

相位差

最大測試尺寸

610×500mm

最小測試尺寸

不限

板厚測試范圍

0.05-3.2mm

飛針探頭數目

2上

CCD Cameras數目

2上

最小Pad Pitch

120μm

80μm

最小Pad Size

75μm

50μm

重復精度

±10μm

±3μm

分辨率

6μm

2μm

板架系統

真空吸盤

自動標記系統

可選配

空壓要求

0.3-0.4Mpa，5.7L/min

外型尺寸

150×135×115cm

重量

1100kg